洁净室的定义及测试常用的规范有哪些
更新时间:2017-02-16 10:31:04浏览次数:0
洁净室常用的规范有四种,分别是
1.美国联邦标准Federal Standard 209E (Fed 209E)
2.美国环境科学学会 (Institute of Environmental Sciences and Technology) 无尘室测试规范IEST-RP-CCO06.2
3.美国国家环境平衡局 (National Environmental Balancing Bureau) 之无尘室认证程序规范Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms。
4.国际标准组织 (International Organization for Standardization) ISO 14644-1